Lumineu M13
Lumineu M13Edit

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Date	Labo	Intervenant	Technologie	Caractéristiques	Remarques - Masque
	UMICOR		Ge	44mm 150microns	wafer reutilisé. traces visibles
24/09/16	CTU	SM	Enrésinement pour TES NbSi	S1813	115°C 90s
28/09/16	CTU	SM	Litho Laser	Tete 4mm, Filtre 3%, Energy 80%	Fichier "04_EDW_SPIRAL_6mm"
28/09/16	CTU	SM	Litho Laser	Tete 20mm, Filtre 30%, Energy 80%	Fichier "20_SUCRE_44mm_plotsAuAl"
28/09/16	CTU	SM	Developpement résine	35s AZ+EDI (1:1)	OK
29/09/16	CSNSM	LB / LD	Evaporation NbSi	500A-13.20%	Décapage ionique 4min -xxmA Arret suite à projection Si à 350A, Complement d'évap jusqu'à 500A
30/09/16	CSNSM	LD	Evaporation Al/ SiO-Au	1000A	Décapage ionique
01/10/16	CSNSM	SM	Lift-off	Acétone 2 jours
03/10/16	CTU	SM	Lift-off	Acetone ultrasons-50°C, 20minutes
03/10/16	CTU	SM	Recuit plaque chauffante	90C - 5 min
04/10/16	CSNSM	EO	Test Cryo	Cryostat Ulisse	Tc = mK

	CTU	SM	Recuit rapide Ar-H2	xx C - 5 min
	CSNSM		Test Cryo		Tc=