Lumineu M11
Lumineu M11Edit

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Date	Labo	Intervenant	Technologie	Caractéristiques	Remarques - Masque
	UMICOR		Ge	44mm 150microns
01/12/14	CTU	SM	Enrésinement pour TES NbSi	S1813	115°C 90s
02/12/14	CTU	SM	Litho Laser	Tete 4mm, Filtre 10%, Energy 60%	Fichier "LUMINEU_v2 NbSi Laser"
02/12/14	CTU	SM	Developpement résine	40s MIF319	OK
05/12/14	CSNSM	LB / SM	Evaporation NbSi	500A-13.30%	% 13.30 p: 1.5 .10-7 Décapage ionique 15min -11.76mA
06/12/14	CTU	SM	Lift-off	Acétone-Ultrasons-60°C
06/12/14	CTU	SM	Recuit plaque chauffante	110 C - 5 min
06/12/14	CTU	SM	Delaqueur	Pico RF	Gaz=02 @ 0.8mT, P=150W, 3minutes
06/12/14	CSNSM	SM	Test Cryo NbSi		Tc = 70mK
06/01/15	CTU	SM	Recuit rapide Ar-H2	145 C - 5 min
	CSNSM		Test Cryo NbSi		Tc=

	CTU		Recuit rapide Ar-H2	330 C - 5 min
	CSNSM		Test Cryo NbSi		Tc=
	CTU		Enrésinement pour électrodes Al	S1813	110°C 90s
	CTU		Litho Laser + Developpement résine		Fichier "LUMINEU_v2 électrodes 3.8"
	CSNSM		Décapage Ar Evaporation Ge/Al	Ar(90V,6min) ? Ge(600A)/Al(1500A)	Ge sans H en tournant ?
	CTU		lift	acétone
	CTU		Enrésinement pour fuite thermique Au	S1813	110°C 90s
	CTU		Litho Laser + Developpement résine		Fichier "LUMINEU_v1 Au"
	CTU		Dépôt Au
	CTU		lift	acétone

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Fichiers 2

Fichier			Taille	Date	Attaché par
		M11_110C.png Aucune description	121.37 Ko	11:35, 12 Jan 2015	Stefanos_Marnieros	Actions Attacher une nouvelle version Déplacer/renommer Supprimer
		Run40_Lumineu_Lucifer.pxp Aucune description	197.55 Ko	11:36, 12 Jan 2015	Stefanos_Marnieros	Actions Attacher une nouvelle version Déplacer/renommer Supprimer

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