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Lumineu M12
Lumineu M12Edit

    Sommaire
    aucun titre

     

    Date Labo Intervenant Technologie Caractéristiques Remarques - Masque
      UMICOR   Ge 44mm 150microns  
    24/09/16 CTU SM Enrésinement pour TES NbSi S1813

    115°C 90s
    28/09/16 CTU SM Litho Laser Tete 4mm, Filtre 3%, Energy 80% Fichier "04_EDW_SPIRAL_6mm"
    28/09/16 CTU SM Litho Laser Tete 20mm, Filtre 30%, Energy 80% Fichier "20_SUCRE_44mm_plotsAuAl"
    28/09/16 CTU SM Developpement résine 35s AZ+EDI (1:1) OK
    29/09/16 CSNSM LB / LD

    Evaporation NbSi

    		 500A-13.20%

    Décapage ionique 4min -xxmA
    30/09/16 CSNSM LD Evaporation Al/ SiO-Au 1000A Décapage ionique
    01/10/16 CSNSM SM Lift-off

    Acétone 2 jours

    		  
    03/10/16 CTU SM Lift-off Acetone ultrasons-50°C, 40minutes   
    03/10/16 CTU SM Recuit plaque chauffante 90C - 5 min  
    04/10/16 CSNSM EO Test Cryo Cryostat Ulisse  Tc = mK
               
      CTU SM Recuit rapide Ar-H2 xx C - 5 min  
      CSNSM   Test Cryo   Tc=
               
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