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Physol Nano-Fab > Projets > Détecteurs cryogéniques > Lumineu > Lumineu Meandres > Lumineu M09 : cassé
Sommaire
aucun titre| Date | Labo | Intervenant | Technologie | Caractéristiques | Remarques - Masque |
| UMICOR | Ge | 44mm 150microns | |||
| sept 2014 | CTU | Enrésinement pour TES NbSi | S1813 | pas de LOL | |
| sept 2014 | CTU | Litho Laser + Developpement résine | Fichier "LUMINEU_v2 NbSi Laser" | ||
| 21-11-2014 | CSNSM | LB+SM | Décapage + Evaporation NbSi | 500A - 13,30% | 13,32% p: 2.10-7 |
| Wafer cassé |
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