Lumineu M05
Lumineu M05Edit

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Date	Labo	Intervenant	Technologie	Caractéristiques	Remarques - Masque
	UMICOR		Ge	44mm 150microns
	CTU		Enrésinement pour TES NbSi	LOL + AZ5214	pas de LOL
	CTU		Litho Laser + Developpement résine		Fichier "LUMINEU_v2 NbSi Laser"
20-01-2014	CSNSM	LB/LD	Evaporation NbSi	500A-13,0%	Décapage ionique in situ, 12.98%

	CTU		Lift-off	acétone + LOL remover
	CSNSM		Test Cryo NbSi
	CTU		Enrésinement pour électrodes Al	LOL + AZ5214
	CTU		Litho Laser + Developpement résine		Fichier "LUMINEU_v2 électrodes 3.8"
	CTU		Collage sur 2"	résine S1813	5min à 120°
	CSNSM		Décapage Ar Evaporation Ge/Al	Ar(90V,6min) ? Ge(600A)/Al(1500A)	Ge sans H en tournant ?
	CTU		lift	acétone + LOL remover
	CTU		Enrésinement pour fuite thermique Au	LOL + AZ5214
	CTU		Litho Laser + Developpement résine		Fichier "LUMINEU_v1 Au"
	CTU		Dépôt Au
	CTU		lift	acétone + LOL Remover