Date | Labo | Intervenant | Technologie | Caractéristiques | Remarques - Masque |
UMICOR | Ge | 44mm 150microns | |||
CTU | Enrésinement pour TES NbSi | LOL + AZ5214 | |||
CTU | Litho Laser + Developpement résine | Fichier "LUMINEU_v2 NbSi Laser" | |||
05-06-2014 | CSNSM | LB /LD | Evaporation NbSi | 500A-13,5% | Décapage ionique in situ 13.48% |
CTU | Lift-off | acétone + LOL remover | |||
CSNSM | SM | Test Cryo NbSi | Tc = ? | ||
CSNSM | SM | Récuit 150°C 1heure | |||
CSNSM | SM | Test Cryo NbSi | Tc = 55mK (possible déviation de thérmométrie suite à une fuite du cryostat) | ||
CSNSM | SM | Récuit 170° 1heure | |||
CSNSM | SM | Test Cryo NbSi | Tc = 37mK (possible déviation de thérmométrie suite à une fuite du cryostat) | ||
CSNSM | SM | Récuit 182° 1heure | |||
25-10-2014 | CSNSM | SM | Test Cryo NbSi | Pas de Tc mesuré Montage sur support avec fils nylon + fil Au |
Fichier | Taille | Date | Attaché par | |||
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LumM04_RT.png Aucune description | 130.29 Ko | 01:28, 17 Oct 2014 | Stefanos_Marnieros | Actions |