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Lumineu M08
Lumineu M08Edit

    Sommaire
    aucun titre
    Date Labo Intervenant Technologie Caractéristiques Remarques - Masque
      UMICOR   Ge 44mm 150microns  
    sept 2014 CTU   Enrésinement pour TES NbSi S1813

    110°C 90s

    pas de LOL

    sept 2014 CTU   Litho Laser + Developpement résine   Fichier "LUMINEU_v2 NbSi Laser"
    08/10/14 CSNSM LB / SM

    Evaporation NbSi

    500A-13,3%

    Derive de la composition (fin de vie du Si)

    Composition plus riche en Nb

    oct 2014 CTU   Lift-off acétone  
    05-11-2014 CTU SM Recuit rapide Ar-H2 100 C - 5 min  
    11-2014 CSNSM SM Test Cryo NbSi    Tc = 285mK
    11-2014 CTU SM Recuit rapide Ar-H2 300 C - 5 min  
    11-2014 CSNSM SM Test Cryo NbSi   Tc=105mK
               
      CTU SM Recuit rapide Ar-H2 330 C - 5 min  
      CSNSM SM Test Cryo NbSi   Tc=
      CTU   Enrésinement pour électrodes Al S1813

    110°C 90s

      CTU   Litho Laser + Developpement résine   Fichier "LUMINEU_v2 électrodes 3.8"
      CSNSM  

    Décapage Ar

    Evaporation Ge/Al

    Ar(90V,6min) ?

    Ge(600A)/Al(1500A)

    Ge sans H en tournant ?
      CTU   lift acétone  
      CTU   Enrésinement pour fuite thermique Au S1813 110°C 90s
      CTU   Litho Laser + Developpement résine   Fichier "LUMINEU_v1 Au"
      CTU   Dépôt Au    
      CTU   lift acétone  
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