Date | Labo | Intervenant | Technologie | Caractéristiques | Remarques - Masque |
UMICOR | Ge | 44mm 150microns | |||
sept 2014 | CTU | Enrésinement pour TES NbSi | S1813 | 110°C 90s pas de LOL | |
sept 2014 | CTU | Litho Laser + Developpement résine | Fichier "LUMINEU_v2 NbSi Laser" | ||
08/10/14 | CSNSM | LB / SM | Evaporation NbSi | 500A-13,3% | Derive de la composition (fin de vie du Si) Composition plus riche en Nb |
oct 2014 | CTU | Lift-off | acétone | ||
05-11-2014 | CTU | SM | Recuit rapide Ar-H2 | 100 C - 5 min | |
11-2014 | CSNSM | SM | Test Cryo NbSi | Tc = 285mK | |
11-2014 | CTU | SM | Recuit rapide Ar-H2 | 300 C - 5 min | |
11-2014 | CSNSM | SM | Test Cryo NbSi | Tc=105mK | |
CTU | SM | Recuit rapide Ar-H2 | 330 C - 5 min | ||
CSNSM | SM | Test Cryo NbSi | Tc= | ||
CTU | Enrésinement pour électrodes Al | S1813 | 110°C 90s | ||
CTU | Litho Laser + Developpement résine | Fichier "LUMINEU_v2 électrodes 3.8" | |||
CSNSM | Décapage Ar Evaporation Ge/Al | Ar(90V,6min) ? Ge(600A)/Al(1500A) | Ge sans H en tournant ? | ||
CTU | lift | acétone | |||
CTU | Enrésinement pour fuite thermique Au | S1813 | 110°C 90s | ||
CTU | Litho Laser + Developpement résine | Fichier "LUMINEU_v1 Au" | |||
CTU | Dépôt Au | ||||
CTU | lift | acétone |
Fichier | Taille | Date | Attaché par | |||
---|---|---|---|---|---|---|
M08_330C.png Aucune description | 94.67 Ko | 11:36, 12 Jan 2015 | Stefanos_Marnieros | Actions | ||
Run40_Lumineu_Lucifer.pxp Aucune description | 197.55 Ko | 11:36, 12 Jan 2015 | Stefanos_Marnieros | Actions |