Sommaire
Mesures R(T) avant recuit :
Effet de bord sur la Tc et sur la résistance à l'état normal.
Dispo 3 : 1 transition, Tc= la résistance à l'état normal = 1,86MOhm (pour 2MOhm attendu)
Par ailleurs les mesures en courant ont montré un problème de contact entre le NbSi et l'aluminium (contact non ohmique) .
Recuit 4 tempé de recuit et 6 géométrie, 2 échantillons de chaque. 48 échantillons.
Fiche process
| Date | Labo | Intervenant | Technologie | Caractéristiques | Remarques - Masque |
| University Wafers | Wafer Si 3" 1micron SiN | ||||
| 15/01/14 | CTU | DN | Enrésinement pour chauffage Au | LOL + AZ5214 | Masque " Rx 2x2 CHAUFFAGE" |
| CTU | DN | Plasma O2 | RIE STS 70sccm 120W 10s | ||
| 14/03/14 | CSNSM | LB | Evaporation Au | Ti 20A + Au 500 A | |
| 17/03/14 | CTU | DN | Lift-off | acétone + 1165 | parfait |
| 18/03/14 | CTU | DN | Enrésinement pour TES NbSi | AZ5214 + primer | Masque "Rx 2x2 MEANDRE" 115° 1 min - 1.5s - 125° 1 min - 12s dév 27s MIF 726 |
| 25/03/14 | CSNSM | LB /LD | Evaporation NbSi | 500 A - 14,00% | 13.98% p: 1.2.10-7 pas de SiO |
| 27/03/14 | CTU | DN | Lift-off | acétone | 5 min ultrasons - Rinçage iso + eau |
| 28/03/14 | CTU | DN | Enrésinement pour electrodes Al | AZ5214 + primer | Masque " Rx 2x2 PRE-CONTACTS" Mêmes conditions de litho que pour le NbSi |
| 31/03/14 | CTU | DN | Evaporation Al | 2000 A | Décapage Ar avant dépôt 5 min P=1.10-6 Torrs en début de dépôt v=0.3nm/s I=0.29A |
| CTU | DN | Lift-off | acétone | rinçage iso + eau | |
| 01/04/14 | CTU | DN | Enrésinement pour trous traversants | Résine AZ4562 | recuit 1h à 90° - insolation 40s dév 4 min 30s dans AZ400K:eau (1:4) L'alu se décolle légèrement au bord. |
| 02/04/14 | CTU | DN | Gravure nitrure | RIE STS | 40 min 10s recette Nitiram (3 éch en même temps) |
| 03/04/14 | CTU | DN | Gravure profonde Si | 1h30 recette Qubic_etch | + 30s d'ultrasons pour casser les membranes de SiN qui bouchent les trous en face arrière |
| 04/04/14 | CTU | DN | Nettoyage résidus | Acétone + 1165 chaud | Parfait |
| CSNSM | Mesures à froid | ||||
| 25/06/14 | IEF | David B. | Découpe à la scie |
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Fichiers 15
| Fichier | Taille | Date | Attaché par | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
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