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Sommaire
- 1. Liste des échantillons
- 2. Des résultats
- 3. Principe
- 4. Contraintes
- 5.
- 6. Design
- 7. Etapes de fabrication
Des résultats
Principe
Caractéristiques du TES : Tc = 20mK, R = 1,5MOhm
Contraintes
Design
Etapes de fabrication
Sur wafer
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