Page modifiée à 15:43, 15 Mai 2013 par anne_aelle_drillien
Sommaire
- 1.
- 2. Fiche process
Fiche process
| Date | Labo | Intervenant | Technologie | Caractéristiques | Remarques - Masque |
| UMICOR | Ge | 3" | |||
| 01/10/12 | CTU | DB+AAD | Découpe méplats | Scie diamantée Ecart entre méplats : 71,5mm | Ecart entre méplats : 71,5mm Trop mince : viser 72mm |
| 03/10/12 | CSNSM | LD-AAD | Décapage Ar Evaporation Electrode étroites simples Al | Ar(90V,6min) Ge(600A)/Al(1500A) | Ge sans H en tournant, masque électrodes épaisses, Al masque électrodes minces |
| 11/10/12 | CSNSM | LD+AAD | Evap SiO dimension 6*11 | 1000A | photos |
| 11/10/12 | CSNSM | LD+AAD | Evap fuite thermique Ti/Au | Ti/Au 8A/4000A | sur SiO |
| 18/10/12 | CTU | AAD | Enrésinement protection face avant | S1813 | Recuit : 110° (1min) |
| 18/10/12 | CTU | AAD | Enrésinement pour TES NbSi | AZ5214 | Dvp : AZ 400K:EDI (1/4) "Lumière_v1 NbSi" |
| 18/10/12 | CTU | AAD | Evap TES NbSi | NbSi 1000A 13,5% | SiO |
| 19/10/12 | CTU | AAD | lift | acétone-isopropanol | Le dépôt n'a pas adhéré |
| 22/10/12 | CTU | AAD | Enrésinement protection face avant | S1813 | Recuit : 110° (1min) |
| 22/10/12 | CTU | AAD | Enrésinement pour TES NbSi | 2*AZ5214 | Recuit après le premier épandage : 110°-1min Recuit après le 2ème épandage : 110°-1min30 |
| 22/10/12 | CTU | AAD | Insolation | Aligneur double face EVG600 | Insol lift off 4mJ, insol d'inversion 300mJ Dvp : AZ 400K:EDI (1/4) "Lumière_v1 NbSi" |
| 22/10/12 | CTU | AAD | Plasma O2 | RIE STS | 70sccm-120W-10sec |
| 22/10/12 | CTU | AAD | Evap NbSi | NbSi 1000A 13,5% | SiO |
| 23/10/12 | CTU | AAD | lift | acétone-isopropanol | un défaut visible sur le méandre |
| 24/10/12 | CTU | AAD | Enrésinement protection face avant et arrière | S1818 | Recuit : 110° (1min) |
| 24/10/12 | CTU | AAD | Découpe 2" | Scie diamantée | |
| 24/10/12 | CTU | AAD | Retrait résine protection | Acétone | Rincage éthanol |
- Was this page helpful?
- Mots clés (Modifier les mots clés)
- Liens sur cette page
Fichiers 3
| Fichier | Taille | Date | Attaché par | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
 | Lumineu03-2.png Aucune description | 1167.06 Ko | 15:59, 14 Mai 2013 | anne_aelle_drillien | Actions | |
 | Lumineu03.png Aucune description | 1159.81 Ko | 15:59, 14 Mai 2013 | anne_aelle_drillien | Actions | |
 | méandre-lum3.png Aucune description | 1786.41 Ko | 15:43, 15 Mai 2013 | anne_aelle_drillien | Actions | |
| Images 2 | ||
|---|---|---|
 |  | |
Vous devez être connecté pour poster un commentaire.
Propulsé par MindTouch Core