Lumineu_06 : Pb adhérence NbSi
Lumineu_06 : Pb adhérence NbSiEdit

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Date	Labo	Intervenant	Technologie	Caractéristiques	Remarques - Masque
	UMICOR		Ge	44mm 150microns
03/06/12	CTU	AAD	Enrésinement pour TES NbSi	AZ5214
03/06/12	CTU	AAD	Collage sur 2"	résine S1813	3 petites gouttes étalées au coton tige, recuit 5min à 110°
19/07/13	CSNSM	LB/LD	Evaporation NbSi	500A-13,3%	13.27%
					Mauvaise adhérence NbSi sur Ge Le lift-off a enlevé une grosse partie du NbSi FIN DU PROCESS
	CSNSM	SM			Mise à froid 100mK visé
	CTU	AAD	Enrésinement pour électrodes Al	AZ5214
	CTU	AAD	Collage sur 2"	résine S1813	3 petites gouttes étallées au coton tige, recuit 5min à 120°
	CSNSM	LB	Décapage Ar Evaporation Ge/Al	Ar(90V,6min) ? Ge(600A)/Al(1500A)	Ge sans H en tournant ?
	CTU	AAD	lift	acétone-isopropanol
	CTU	AAD	Enrésinement pour fuite thermique Au	AZ5214
	CTU	AAD	Dépôt Au
	CTU	AAD	lift	acétone-isopropanol