Lumineu_02
Lumineu_02Edit

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Date	Labo	Intervenant	Technologie	Caractéristiques	Remarques - Masque
	UMICOR		Ge	3"
01/10/12	CTU	DB+AAD	Découpe méplats	Scie diamantée Ecart entre méplats : 71,5mm	Ecart entre méplats : 71,5mm Trop mince : viser 72mm
03/10/12	CSNSM	LD-AAD	Décapage Ar Evaporation Electrode étroites simples Al	Ar(90V,6min) Ge(600A)/Al(1500A)	Ge sans H en tournant, masque électrodes épaisses, Al masque électrodes minces
11/10/12	CSNSM	LD+AAD	Evap SiO dimension 6*11	1000A	photos
11/10/12	CSNSM	LD+AAD	Evap fuite thermique Ti/Au	Ti/Au 8A/4000A	sur SiO
18/10/12	CTU	AAD	Enrésinement protection face avant	S1813	Recuit : 110° (1min)
18/10/12	CTU	AAD	Enrésinement pour TES NbSi	AZ5214	Dvp : AZ 400K:EDI (1/4) "Lumière_v1 NbSi"
18/10/12	CTU	AAD	Evap TES NbSi	NbSi 1000A 13,5%	SiO
19/10/12	CTU	AAD	lift	acétone-isopropanol	Le dépôt n'a pas adhéré
22/10/12	CTU	AAD	Enrésinement protection face avant	S1813	Recuit : 110° (1min)
22/10/12	CTU	AAD	Enrésinement pour TES NbSi	2*AZ5214	Recuit après le premier épandage : 110°-1min Recuit après le 2ème épandage : 110°-1min30
22/10/12	CTU	AAD	Insolation	Aligneur double face EVG600	Insol lift off 4mJ, insol d'inversion 300mJ Dvp : AZ 400K:EDI (1/4) "Lumière_v1 NbSi"
22/10/12	CTU	AAD	Plasma O2	RIE STS	70sccm-120W-10sec
22/10/12	CTU	AAD	Evap NbSi	NbSi 1000A 13,5%	SiO
23/10/12	CTU	AAD	lift	acétone-isopropanol