Lumineu_04 : Rupture Ge
Lumineu_04 : Rupture GeEdit

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Date	Labo	Intervenant	Technologie	Caractéristiques	Remarques - Masque
	UMICOR		Ge	44mm 150microns
24/05/13	CTU	AAD	Enrésinement pour dépôt Al	AZ5214
24/05/13	CTU	AAD	Collage sur 2"	résine S1813	3 petites gouttes étalées au coton tige, recuit 5min à 120°
27/05/13	CSNSM	LD	Décapage Ar Evaporation Ge/Al	Ar(90V,6min) GeH(500A)/ Al(1500A) Ge Hydrogéné en tournant Al sans tourner	Après le bombardement Ar le vide redescent lentement comme si la résine dégazait. Reprise du dépôt le lendemain.Le vide était bon
29/05/13	CTU	AAD	lift	acétones-isopranol	photos Amorce de rupture du Ge en périphérie
	CSNSM	EO-SM			mise en froid La Rupture du Ge s'est propagé FIN DU PROCESS