Lumineu 80p :
méandres NbSi de 3x3mm sur wafer Ge de 44mm de diamètre 150microns.
81 motifs réalisés en Litho Laser et découpés en plaquettes de 3.5x3.5mm à la scie.
Litho laser :
fichier MAP Lumineu WaferDecoupe Map Parameters.pdf
fichier GDS LUMINEU_v2 NbSi WaferDecoupe.GDS
Fichier | Taille | Date | Attaché par | |||
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Lumineu WaferDecoupe Map Parameters.pdf Fichier Map pour la réalisation de 81 mitif sur la Litho Laser | 17.77 Ko | 23:56, 1 Oct 2015 | Stefanos_Marnieros | Actions | ||
LUMINEU_v2 NbSi WaferDecoupe.GDS Fichier GDS du méandre NbSi | 1497.96 Ko | 23:52, 1 Oct 2015 | Stefanos_Marnieros | Actions |
Images 0 | ||
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