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Sommaire
- 1. Design
- 2. Etapes de litho
Design
design des 250 pixels
zoom sur un pixel
zoom sur le routage
Etapes de litho
Sur wafer 3" Si (400microns)/SiN LPCVD (5.000A Super Low Stress)
- Lift-off Electrodes (Nb(100A)/Ir)
- Lift-off TES (NbSi, 500A - 14,5%)
- Lift-off Grilles (TiVa - ?A)
- Lift-off Pads (Al ~1500A)
- RIE Membranes pleines (SiN LPCVD)
- Gravures KOH Membranes pleines (Si-bulk)
- RIE Membranes structurées (SiN LPCVD)
- Gravure XeF2 Membranes structurées (Si résiduel)
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- Mots clés (Modifier les mots clés)
- Liens sur cette page
Fichiers 3
| Fichier | Taille | Date | Attaché par | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Electrodes.png Aucune description | 44.69 Ko | 14:25, 7 Mai 2013 | anne_aelle_drillien | Actions | |
| Peigne et senseur.png Aucune description | 60.91 Ko | 14:25, 7 Mai 2013 | anne_aelle_drillien | Actions | |
| wafer QUBIC_P.png Aucune description | 44.73 Ko | 14:25, 7 Mai 2013 | anne_aelle_drillien | Actions | |
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