Polyimide
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Sommaire

1. Propriétés:
2. dépôt:

Propriétés:

polyimide
solvant: N-méthyl-2-pyrrolidone
conservation au congélateur
εr=
λ/2n=
safety datasheet

dépôt:

primer: Ultradel A600
spin 30" à 2000rpm

résine: PI2611
Solution diluée conservée au frigo: 30g de solution mère + 30g de N-méthyl-2-pyrrolidone
dépôt en couche de planarisation:
spin 30" à 500rpm + 60" à 1000rpm
épaisseur ~1.7µm
ou
Hot Plate 60" à 120°C
spin 60" à 5000rpm + 6" à 7000rpm (pour évacuer les résidus de résine sur les bords)
épaisseur ~100nm

Si la couche est ratée, ne pas essayer de la dissoudre à l'acétone (formation de fils...) Mieux vaut dissoudre avec le solvant

Etuve 1h de Tamb à 180°C
bien thermaliser au préalable à Tamb pour assurer une bonne planarisation

Four sous vide 1h à 350°C