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Physol Nano-Fab > Clean Room: Machines > Lithography (e-beam / optic) > e-beam : "Raith e-line" (SPEC)
se logger sur session "csnsm"
Important : Passer en mode TV dès que déplace la platine de maniere verticale. Pour les axes horizontaux, il y a des sécurités.
minimum dwell time (dans calcul des doses) 0.3microsec
Condition standard appareil au repos
Procédure d'utilisation
utilisation des macros
Check list avant litho
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