L-Edit

Sauver en gds2.

Les différents layers vont correspondrent aux différentes expositions. Pour trouver le numéro GDS2 du layer voir Setup->Layers.

Par defaut la cellule utilisee est Cell0.

Conversion GDS2 a Jeol01

Mettre le fichier GDS2 sur Nikopol.

Pour convertir il faut être connecte a une station de travail sun, par exemple en se connectant par exemple sur anthracite.lpn.prive via telnet, teraterm ou hyperterminal et utiliser la ligne de commande :

gds2tojeol01 –y –e1 –rnomdelacellule –lnumerodelayer nomdefichier.gds >> nomdefichier.j01

Attention aux majuscules/minuscules !

-e1 signifie échelle 1. Typiquement cela signifie que l’on reste dans la meme unite que l’unite technologique de base dans l-edit. (-e10 signifie que l’unite de mesure du fichier j01 est 10 fois l’unite technologique de base)

Nomdelacellule est par défaut Cell0 sur L-Edit.

On trouve le numéro de Layer dans Setup->Layers dans L-Edit.

L’idée est d’accumuler les différents layers et cellule dans un même fichier j01

On DOIT alors vérifier le fichier j01 avec un editeur de texte :

ID/ Cell0 !! Cell0 (par défaut) doit être renomme en utilisant uniquement des majuscules (ou problème a la compilation avec @conv) !!

*

TK/n x,y-x,y (n est le gds2 datatype dans L-Edit, ie la dose, et TK = polygone.)

RT/m xdepart,ydepart,longueurx,largeury (RT = rectangle)

….

EF

Transfert de fichier vers le PDP

Utiliser teraterm ou hyperterminal (en mode kermit pour le transfert) et se connecter sur ATTILA. Si on ne voit pas le prompt JEOL $ se connecter en utilisant la commande hello, le login jeol et le mot de passe jeol. (ancien login : 1,3 et mode de passe : digitaline)

Tapez les commandes (insensible a la casse) :

Set def [fred]

Kermit

Receive

-> Allez dans le menu File->Transfert->Kermit->Send et choisir le fichier j01 a envoyer.

Quit

Pour convertir au format masqueur (jeol51)

Set def [1,3] ->sinon il ne connaît pas @conv

@CONV

Parameter DU1:[FRED]1NM. ou DU1:[FRED]2.5NM selon l’unite de base

Layer by Layer

2 Layer Number

N° Layer

Ø

Yes

Next Layer : Yes ou bien No si fini

Data File : DU0:[FRED]NOMDUFICHIER.JØ1

!! Le fichier Fred.txt contient les paramètres par défaut tels que les champs et sous champs, la loi d’echelle a appliquer .. !!

!! L’unite de longueur dans le fichier j01 entrant est spécifiée par le paramètre DATAUNIT. 1,1 signifie 0.1µm, 1,-10=10nm, 1,-40=2.5nm et 1,-100=1nm. Plus generalement n,m signifie que n unite du dessin correspondent a m*0.1µm (l’unite de reference du jeol). Si m est negatif cela signifie 1/|m|. En general on utilise n=1 (pas sur que ca marche pour n<>1…) !!

!! Les layers sont lu dans le meme ordre que celui dans lequel ils sont inseres dans le fichier j01 a partir du gds2 !!

!! Le layer number mentionne ici n’a rien a voir avec le gds2 layer number, c'est le nombre de layer dans le fichier !!

!! Il faut utiliser uniquement des majuscules pour communiquer avec le programme @conv !!

@PATREAD -> PATTERN1

select process 5 (PATTERN READ)

File 3 (ANNET/FRED/LUC)

PATTERN NAME RD_TIAU ou Enter si finit

EOS MODE 8

SCAN STEP Ø.ØØ25 (pour 5eme lentille)

RESIZE Ø.ØØØØ

Fichier EPL:

Contient le shot, le mode (7 et 8 correspondent à 50kV, 5eme lentille. 5 et 6 -> 25kV 4^e lentille), la table (4 pour mode 8. C’est dans la table qu’est stockée la calibration) et le nom du pattern a insoler.

#1 : EXPO signifie qu’il lance en parallèle un job se référant au flag EXPO définit dans le fichier LTL

LBC=ON signifie que le LBC (Laser Beam Control) pour la platine est activé. 

SHOT=(A,m) : A signifie que l’ont tient compte des modulations de dose (? Option toujours activée) et m se réfère au pas utilisé lors du balayage du faisceau électronique par rapport au pas de base (2.5nm en mode 8 => m=4->4*2.5=10nm). Pour vérifier que les doses utilisées sont bien compatibles avec le pas, le courant et la bande passante du DAC on utilise les courbes du JEOL ou chaque ligne correspond au courant max pour une valeur de m (le courant max pour une dose donnée est donc proportionnel à m^2).

PN(m)=nomdupatternm(shiftX,shiftY) où (shiftX,shiftY) est le shift optionnel a appliquer par rapport a la position de la marque d’alignement (c’est le vecteur allant du centre de la marque d’alignement L-mark vers centre du chipsize à exposer).

Fichier LTL :

Ce fichier définit le flag EXPO comme un programme (PROG).

Dans ce programme on assigne les différents éléments du tableau exposé (définit dans .PDL) à des patterns (PN(m) voir .PDL) et des shots (voir .PDL).

!!Attention le tableau est en notation matricielle (1^er indice : ligne, 2eme indice : colonne) !!

Fichier PDL :

Contient la position platine du centre de l’espace dans lequel se trouve l’échantillon, la dose de base : SENS= (µC/cm2, nC/cm [pour type LN]), et la définition du tableau exposé : ARRAY=(X0,n,DeltaX)/(Y0,m,-DeltaY) (notez bien le – devant DeltaY. Ces coordonnées se réfèrent au centre du chip.).

Dans la définition du resist, ALLOW = XX signifie que l’on autorise une variation de XX % de la valeur du courant par rapport a ce qui est écrit dans le fichier de calibration.

Ce fichier contient toutes les informations sur les croix d’alignement :

!! il ne suffit pas de faire un alignement de type Rough car alors les données de l’alignement ne sont pas sauvées (Il faut de toutes façons faire un alignement de type Fine) !!

!! La procédure standard consiste a faire un alignement complet (mode 3 : rotation, position et scaling) avec 3 points sur le wafer puis de refaire chip par chip une correction sur la position. !!

!! Par défaut, si les paramètres type et face d’une marque d’alignement ne sont pas définis, le Jeol suppose qu’il s’agit d’une croix. (TYPE=1 signifie L marque, FACE=3 signifie coin en haut a gauche.) !!

!! ATTENTION la correction d’alignement pour la rotation doit être inférieure 5 degrés !!

!! Les marques d’alignement locales doivent être alignées sur le même réseau que les patterns exposés !!

!! Pour ne pas utiliser de L-mark mettre MODE = 9 (on se base alors sur l’alignement des wafer marks) !!

!! Pour sauver les paramètres de gain de détection de marque sur le wafer il ne suffit pas de faire un setmdg dans inimsh mais faire INIMSH -> PARAME -> SETMDG puis EXIT -> SAVE !!

!! A 1nA, setmdg (5,0) + (6,0) fonctionne bien !!

!! la position XY de la platine (pour le centre du porte échantillon par exemple) correspond a un axe Y inversé par rapport au repère cartésien. Tandis que la position XY relative (pour la définition des tableaux d’exposition par exemple) se réfère a un repère cartésien normal. !!

Pour insoler

@SCDSET

Rentrer le nom de fichier [FRED]TIAU

.EPL

.LTL

.PDL

@CALIB

EOS Mode 8 (EOS : Electron Optic system)

EOS Table No. 4 (param dom & al.)

@EXPOSE

mode 2 -> alignement semi automatique : il faut entrer les coordonnées (X,Y) de la première wafermark (la marque de ARRXG). Ces coordonnées doivent être déterminée auparavant en mode manuel.

Glossaire de certaines commandes bien utiles

@DIR JEOL51.DAT pour voir les fichiers compiles tjs en memoire

@DIR PATTERN1.DAT pour voir les fichiers dans pattern1 (apres @patread)

@KJXXX pour tuer @XXX (marche avec conv, patread, scdset [pour expose->exp])

SH ME pour voir les jobs en cours

@KJEXP <- tue l’expose

SH TT pour voir les tty connectés sur Attila

@SETMDG pour modifier le gain des detections de marque

@JJS pour savoir quels jobs sont en cours

@DEL51 réinitialise le fichier jeol51.dat (ne surtout pas effacer ce fichier a la main !)

set def [fred] va dans le directory fred

!! Pour sortir de l’editeur ED sans sauver il faut utiliser quit et pas exit !!

!! Lorsque l’editeur ED se met automatiquement en mode commande (*) tapez « c » pour passez en mode input. !!

Pour couper (point)+6 sur le pavé numérique

F1 6 pour coller

PF1 (sur le pavé) quand on est sur le masqueur et F1 quand on est sur station

Pour inclure PF1 + 7 + INC + Return (pavé)

Save et Exit Ctrl z + EXIT

Listing des commandes 1

Sortir Ø