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    Date Labo Intervenant Technologie Caractéristiques Remarques - Masque
      PTA Grenoble   électrodes épaisses Ti:TiN:Au d'environ 190nm lift-off LOR
      CTU AAD Enrésinement pour dépôt NbSi AZ5214 Masque "Rayons X NbSi v1"
      CSNSM LB

    Evap TES NbSi

    SiO

    NbSi 300A 14%  
      CTU AAD lift acétone-isopropanol  
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