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Sommaire
- 1. Liste des échantillons
- 2. Des résultats
- 3. Principe
- 4. Contraintes
- 5.
- 6. Design
- 7. Etapes de fabrication
Des résultats
Principe
Design repris pour la fabrication des échantillons RX_09 et RX_10 qui seront testés par Sebastien Loiseau à la PTA (qui travaille en collaboration avec Claude Pigot au CEA). RX_09 et RX_10 vont permettre d'étudier c'est la possibilité de faire des électrodes épaisses suivi d'un NbSi fin en Lift-off.
Contraintes
Amélioration des contacts.
Faire un bombardement argon systématiquement dès la rentrée pour retirer l'oxyde du TiN.
Design
Etapes de fabrication
Sur wafer
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