Page modifiée à 10:54, 18 Jun 2013 par Vincent_Humbert
Sommaire
Description
Permet d'avoir gravure anisotrope contrairement à gravure chimique simple
Peut faire une couche de protection en Al (taux de gravure très faible)
Recettes gravure
Nb / NbSi dry etch (pour détails sur Etch Nb, voir ici @ 03/06/2013)
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