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Sommaire
Different wafers used
| Date | Name | Material | orient | resistivity | oxide | coating | thick (µm) | diam (mm) | ref. provider | provider | intervenants | links | comments |
| GeCo1 | Ge | 100 | 70nm SiO | 175 | 44 | umicore | carac | ||||||
| GeCo3 | Ge | 100 | 70nm SiO | 175 | 44 | umicore | carac | mechanical masks FID | |||||
| 11-2015 | SID1 | Si | 100 | >10 kΩ.cm | no | no | 350+/-25 | 50.8 | 2602 | university wafers | hls, | fab, carac | 1st test litho, Interdig |
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