EDW M02
EDW M02Edit

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Date	Labo	Intervenant	Technologie	Caractéristiques	Remarques - Masque
	UMICOR		Ge	44mm 150microns	Wafer déjà enresiné puis netoyé (quelques poussières)
09/01/15	CTU	SM	Enrésinement pour TES NbSi	S1813	115°C 90s
09/01/15	CTU	SM	Litho Laser	Tete 20mm, Filtre aucun, Energy 95%	Fichier "EDW_meandres44mm_1_Laser"
09/01/15	CTU	SM	Developpement résine	25+5s AZ351+EDI (1:4)	OK
	CSNSM	LB / SM	Evaporation NbSi	500A-13.30%	Décapage ionique 15min -11.76mA
	CTU	SM	Lift-off	Acétone-Ultrasons-60°C
	CTU	SM	Recuit plaque chauffante	110 C - 5 min
	CTU	SM	Delaqueur	Pico RF	Gaz=02 @ 0.8mT, P=150W, 3minutes
	CSNSM	SM	Test Cryo NbSi		Tc = 70mK
	CTU	SM	Recuit rapide Ar-H2	145 C - 5 min
	CSNSM		Test Cryo NbSi		Tc=

	CTU		Recuit rapide Ar-H2	330 C - 5 min
	CSNSM		Test Cryo NbSi		Tc=
	CTU		Enrésinement pour électrodes Al	S1813	110°C 90s
	CTU		Litho Laser + Developpement résine		Fichier "LUMINEU_v2 électrodes 3.8"
	CSNSM		Décapage Ar Evaporation Ge/Al	Ar(90V,6min) ? Ge(600A)/Al(1500A)	Ge sans H en tournant ?
	CTU		lift	acétone
	CTU		Enrésinement pour fuite thermique Au	S1813	110°C 90s
	CTU		Litho Laser + Developpement résine		Fichier "LUMINEU_v1 Au"
	CTU		Dépôt Au
	CTU		lift	acétone