Sommaire
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Description :
Cristal Germanium : diamètre : 20 mm, hauteur : 20 mm
Surface 1 : dépôt Al (19 mm de diamètre)
Surface 2 : dépôt Al (19 mm de diamètre) + au centre Au (diamètre : 2mm)
Traitement surface 2 :
| Date | Labo | Intervenant | Technologie | Caractéristiques | Remarques - Masque |
| CTU | SM-CO | Ge | |||
| 05/06/18 | CTU | SM-CO | Enrésinement | programme AZ QUBIC 2000tr/min | recuit 115°C 30 min |
| 05/06/18 | CTU | SM-CO | Litho Laser | Tete 20mm, Filtre aucun, Energy 40 Fix focus | Fichier "20_EDW32g_grille10_500" Le cristal est collé sur le support d'adaptation laser grâce à une goutte de résine S1805 déposée entre du scotch et le cristal. Le scotch est collé sur le support d'adaptation. Le support d'adaptation est lui-même scotché sur le plateau pour permettre l'étanchéité (le côté adhésif du scotch est tourné vers le support, le coté non adhésif est tourné vers le plateau et tient par un phénomène d'aspiration) |
| 05/06/18 | CTU | SM-CO | Developpement résine | AZ Developper+EDI (1:1) 30s + 10s + 30 s | remarque : le cristal n'était pas parfaitement plan cela se retrouve sur l'épaisseur des lignes non homogène sur toute la surface |
| 07/06/18 | CTU | SM-CO | Gravure Aluminium (Alu-etch) | 1min 45s |
microscope OK |
| 07/06/18 | CTU | SM-CO | Lavage résine | Acétone / isopropanol puis EDI | microscope OK qq instant étude pour sécher |
| 07/06/18 | CTU | SM- CO | enrésinement pour protéger la surface au cours du traitement de la surface 1 | résine 1813 programme AZQUBIC 2000tr:min | recuit 115°C , 25 min |
| CTU | SM-CO | lavage résine de protection après traitement de la surface 1 | Acétone | microscope OK | |
| CSNSM | SM | Test Cryio | Tc = 70mK | ||
| CTU | SM | Recuit rapide Ar-H2 | 145 C - 5 min | ||
| CSNSM | Test Cryo NbSi | Tc= | |||
Traitement surface 1 :
| Date | Labo | Intervenant | Technologie | Caractéristiques | Remarques - Masque |
| 8/06/18 | CTU | SM-CO | Ge | ||
| CTU | SM-CO | Enrésinement NbSi | programme AZ QUBIC 2000tr/min | recuit 115°C 30 min | |
| CTU | SM-CO | Litho Laser | Tete 20mm, Filtre aucun, Energy 50
fix focus | Fichier "EDW_Spiral_14mm_NbSi" Le cristal est collé sur le support d'adaptation laser grâce à une goutte de résine S1805 déposée entre du scotch et le cristal. Le scotch est collé sur le support d'adaptation. Le support d'adaptation est lui-même scotché sur le plateau pour permettre l'étanchéité | |
| CTU | SM-CO | Developpement résine | AZ Developper+EDI (1:1) 40 s | ||
| CTU | SM-CO | Gravure Aluminium | 1min 45s |
microscope OK | |
| CTU | SM-CO | Lavage résine | Acétone / isopropanol puis EDI | microscope OK qq instant étude pour sécher | |
| CTU | SM- CO | enrésinement pour protéger la surface au cours du traitement de la surface 1 | résine 1805 programme AZQUBIC 2000tr:min | recuit ? °C , ? min | |
| CTU | SM-CO | lavage résine de protection après traitement de la surface 1 | Acétone | microscope OK | |
| CSNSM | SM | Test Cryo NbSi | Tc = 70mK | ||
| CTU | SM | Recuit rapide Ar-H2 | 145 C - 5 min | ||
| CSNSM | Test Cryo NbSi | Tc= | |||
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Fichiers 5
| Fichier | Taille | Date | Attaché par | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
 | Ge32_NbSi_Face1.png Aucune description | 34.84 Ko | 15:09, 15 Jun 2018 | Stefanos_Marnieros | Actions | |
 | Ge32_NbSi_Face2.png Aucune description | 38.5 Ko | 15:09, 15 Jun 2018 | Stefanos_Marnieros | Actions | |
 | Ge32_NbSi_Spiral14.png Aucune description | 84.71 Ko | 15:09, 15 Jun 2018 | Stefanos_Marnieros | Actions | |
 | Ge3é_NbSi2.odt Aucune description | 12.08 Mo | 17:21, 3 Jul 2018 | Stefanos_Marnieros | Actions | |
 | Spirale_2.jpg enrésinement spirale NbSi sur surface 1 | 803.76 Ko | 11:49, 12 Jun 2018 | Stefanos_Marnieros | Actions | |
| Images 4 | ||
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 enrésinement spirale NbSi sur surface 1Spirale_2.jpg | ||