Page modifiée à 20:23, 13 Nov 2013 par Vincent_Humbert
Physol Nano-Fab > Clean Room: Machines > Lithography (e-beam / optic) > UV: MJB4 (LPN, IEF, SPEC) > Procédure
Sommaire
aucun titre* verify lamp is on & pump is turned on
* verify microscope is down
* load mask
* WEC
* alignement
* exposure
- Was this page helpful?
- Mots clés (Modifier les mots clés)
- Liens sur cette page
| Images 0 | ||
|---|---|---|
| Aucune image à afficher dans la galerie |
Vous devez être connecté pour poster un commentaire.
Propulsé par MindTouch Core