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Litho AZ5214 sur SOI
Litho AZ5214 sur SOIEdit

    Sommaire
    aucun titre

    Process:

    • Spin primer
    • Spin résine AZ5214S à 4000 rpm pendant 30s => environ 1.4 µm d'épaisseur
    • Recuit 1 min à 115°
    • Insolation 1.5 s aligneur double face
    • Recuit 1 min à 125°
    • Insolation pleine plaque 12 s aligneur double face
    • Développement au MIF 726  20-25s puis rinçage eau DI
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