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Page modifiée à 17:41, 19 Jun 2013 par Vincent_Humbert
Physol Nano-Fab > Clean Room: Machines > Thin film processing > Sputtering > E5000M S.E.M. coater (piece 6a bat 772)
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E5000M S.E.M. coater (piece 6a bat 772)
E5000M S.E.M. coater (piece 6a bat 772)Edit

    Description

    pulvérisation couche mince Au avant observation MEB (obs d'un matériau isolant)  

    Notice

    mettre en route pompage
    ouvrir bouteille Ar
    régler fuite de Ar jusqu'à courant 30mA (bouton test) (PArgon ~3.10-1mb)
    regler temps
    Couper fuite
    couper pompage
    ouvrir
    mettre ech
    pompage
    rerégler fuite
    appuyer sur start (vérifier 30mA)
    Couper pompe
    Couper fuite
    fermer bouteille Ar Sortir Ech
    Mettre en stand by

    Stand by

    fuite coupé
    Enceinte pompé
    Pompe éteinte
    Bouteille ouverte

    Paramètres usuels

    pour préparer obs : régler fuite pour sputtering 30s @ 30mA (PArgon ~3.10-1mb)

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