vieil evapoteur SPEC

vieil evapoteur SPECEdit

conditions standard
Deposition on
pompage chambre transfert off
pompage chambre on
e- gun off
Block d'alimentation Ion Milling Off

notice

Chargement de l'échantillon
Vérifier piège N
Appuyer sur "depos." (isole chambre transfert)
Ventiller chambre transfert
Mettre échantillon (faire attention sens échantillon si evap sous angle)
Vérifier échantillon stable si angle
Fermer chambre transfert
Pomper chambre transfert
Bloquer la rotation à 0° et tarer (il y a un niveau à bulle?)
Lorsque la sonde Penning s'allume, appuyer sur "depos." (ouvre electro-vanne entre chambre de transfert et chambre principale)
attendre vide de l'ordre de qq 10^-7
Choisir une routine (view pour vérifier/edit nouvelle routine)
lancer la routine

Evaporation
Mettre fenetre Xtal en mode "start" (lance lecture du quartz)
Appuyer sur "Process" (mis en route refroidissement du canon)
Mettre l'angle de l'évaporation si besoin
Allumer le canon à électron
Suivre les instructions
Si routine "evap ____*2" -> se dépécher de modifier l'angle entre les deux évap car continue d'évaporer ..
Avant d'éteindre canon, attendre un peu que la tension descende

Ion milling
Verifier interrupteur ion milling on
Allumer block d'alimentation de l'ion milling
verifier que le block d'alimentation est en mode "local"
choisir la puissance
Mettre l'échantillon à -90°
Lancer routine et suivre les instructions
Remettre échantillon à 0° à la fin

D'apres Denis, dégrade très rapidement le masque de litho. Le masque se rétracte sous l'effet du bombardement. Effet de l'ordre de 10nm pour 2*2sec de bombardement (quelle taille de l'ouverture ??)

Déchargement de l'échantillon
Appuyer sur "depos."
Appuyer sur "vent"
Sortir Echantillon
Remettre à pomper
Lorsque Penning en marche, lancer "depos." et couper pompage chambre de transfert
Tirer un trait sur cahier !