Philips (SPEC)

Philips (SPEC)Edit

Description

Microscope Electronique à Balayage pour observation et lithographie électronique (MEB modifié)

résolution ultime: ~ 5 nm

Lieu: SPEC

bat 772, pièce 6
tel --
\\IRAM-HE-003398\
\\IRAM-HA-001153\

Responsable

Marcelo Goffman, (+33) 1 69 08 45 67

Instructions

vérifier HT off
Stage position "Exit"

Positionner échantillon sur Porte Echantillon
ventiller chambre
ouvrir chambre

Manipuler porte échantillon avec l'outils adapté pour le mettre sur son emplacement dans la chambre
Fermer chambre
Pomper chambre
Allumer beam
Choisir Spot/puissance HT

go to sample
go to working distance (via focus reading)
go to faraday cup
measure current
go back to sample
Settle the parametre (focus, stigmatisme, Aperture position)

Settle the UV referential
Launch Exposition

Cut the beam off
Go to the exit position
vent the chamber

Open the chamber
get the sample back with the appropriate tool
Close
Pump