Echantillon à effet de champ

Echantillon à effet de champEdit

Principe

Etude de la relaxation électronique dans les isolants. Les échantillons gardent mémoire de la tension de grille précédentes.

http://neel.cnrs.fr/spip.php?rubrique74

Contraintes

Ne pas avoir d'échantillon trop grand pour éviter les courants de fuites vers la gate : taille typique maximale : 20 x 7,5mm.

Ne pas faire les contacts en Au pour éviter la diffusion dans le NbSi. Choisir Nb/Ir ou Pd ou Pt cf Choix du matériau des électrodes.

Design

Etapes de litho

Sur wafer de taille maximale 7,5mm x 20mm SiO2/Si++ (100nm), côté SiO2 :

1. Lift-off Electrodes (Ti(15A)/Pd(50A))
2. Lift-off NbSi, mince - composition entre 8% et 13%

A partir du 3ème 15mm x 15 mm SiO2/Si++ (100nm), côté SiO2 :

Liste des échantillons

Effet de champ_01 (NbSi 27A-13%)

Effet de champ_02 (NbSi 125A-10%)

Effet de champ_03 (NbSi 125A-8%)

Effet de champ_04 (NbSi 125A-7%)

Effet de champ_05 (NbSi 25A-14%)

Bilan des mesures

Bilan après un mois de mesure sur l’échantillon « effet de champ n°1 »